イーエムキューブ お勧め商品 SCADAパッケージソフトウェア

一般産業分野向けDISAC(分散型加速器)

小型・軽量・低価格・数百MeV級完全デジタル制御加速器

当社の『分散型加速器』を国内外の一般産業機器メーカーへリリース開始いたしました。具体的には、数百MeVレベルの高エネルギーイオンビームが安価なコストで得られる高エネルギー加速器として、従来型の加速器では採算の取れなかった応用分野の新規市場開拓を行います。 分散型加速器では、ホウ素(B)、リン(P)、砒素(As)、炭素(C)、窒素(N)、酸素(O)、フッ素(F)等のイオンを数百MeVまで加速でき、更に一回の照射の中で、パルス毎にイオン種類を切り替えることが可能となります。 イーエムキューブは、分散型加速器をベースとした新しいIon Implantation技術サプライヤーとして、半導体製造等の産業分野への加速器市場拡大を効率よく達成するための支援を最重要課題として取り組んています。

 

<<分散型加速器イメージ図>>基本設計ベースの外形図のため実際とは異なる部分があります。